Melec电源维修Melec脉冲发生器维修Melec脉冲电源维修

更新:2019-11-7 10:54:12
  • 产品品牌 高压射频电源维修
  • 产品型号 Melec电源维修Melec脉冲发生器维修Melec脉冲电源维修高压发生器
产品介绍

Melec电源维修Melec脉冲发生器维修Melec脉冲电源维修高压发生器

Melec的电源脉冲发生器可实现多种用途,凭借现有的直流电源配上Melec的电源脉冲发生器即可实现单极脉冲、双极脉冲、偏压以及HiPIMS高能脉冲电源等功能。

NiCr靶使用直流及HiPIMS晶体结构对比

以HiPIMS高能脉冲为例,相较于直流电源,离化率更高,沉积的薄膜附着力更好,从上图可以看出,直流电源沉积出的为柱状结构,而HiPIMS电源沉积出的为玻璃状结构,膜层更致密。

Melec的电源脉冲发生器主要分为研发领域使用的SIPP2000系列以及工业领域使用的SPIK系列,其中SIPP2000系列分为单极和双极两种,SPIK系列分为SPIK1000A、SPIK2000A和SPIK3000A三种。SPIK系列涵盖的功率范围可从0.5KW到30KW。

Melec电源脉冲发生器,除了单独产生脉冲之外,也可进行叠加使用,根据不同的应用以及不同的基材等,进行各种不同的叠加。

对于单靶或者单弧源来说,可以进行直流和单极HiPIMS高能脉冲、直流和单极脉冲以及单极脉冲和单极HiPIMS高能脉冲叠加,实现共溅射的功能。

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