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电源模块或者电源板：烧坏、短路、无输出、输出电压高于标称值、输出电压低于标称值、过热、死机等故障。

工业电源维修范围：AE电源维修，美国MDX,MDXII,Pinnacle,Diamond系列AE电源维修，AE电镀电源维修，AE射频电源维修，电镀高频电源维修，刻蚀射频电源维修，RE射频电源维修，PECVD射频电源维修，大功率工业电源维修，UPS电源维修等各行业工业用电源维修

射频电源设备维修：刻蚀，RIE,PECVD,ICP,射频溅射，CVD和PVD等系统.

高压电源维修的时候，我们首先需要利用万用表检测一下各功率器件是否存在击穿短路，例如电源整流桥堆、开关管、高频大功率整流管、抑制浪涌电流的大功率电阻是否烧断等，然后需要再检测各输出电压端口电阻是否异常，如上述器件有损坏的情况我们则需要进行更换新的器件。