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等离子纳秒高压脉冲电源维修HVP-20/10

2023-3-10 11:04:45

等离子纳秒高压脉冲电源维修HVP-20 P;HVP-10B;HVP-05;HVP-02等型号均可维修

HVP-20 P(N)用于气体放电与低温等离子体的高性能纳秒高压脉冲电源。

HVP-20P(N)采用专有的marx电路,实现高压脉冲电源参数的便捷可调,包括峰值电压0 – 20 KV (-20 KV)连续可调,脉冲宽度从0 – 1ms可调,以及上升/下降沿可调,很大的拓展了科研人员的研究范围;无论是等离子体放电、材料、分析仪器、生命科学还是物理基础研究能寻觅到HVP-20的应用。

高压脉冲电源维修主要参数:

输出电压: 0 to +20 KV(-20 KV)连续可调

输出波形: 方波、三角波

脉冲顶宽: 0 – 1 ms 连续可调

上升沿/下降沿(@50 pF): 50 – 500 ns, 10 ns 步进连续可调

高重频:(100 pF 负载):

a) 5 KHz, 20 KV

b) 9 KHz, 15 KV

c) 20 KHz, 10 KV

d) 100 KHz, 5 KV

过冲: < 5%

触发: 内部触发、以及外部触发(> 50 ns 脉宽, and < 100 KHz重频)

机械尺寸: 610 * 180 * 485 mm

NiCr靶使用直流及HiPIMS晶体结构对比:以HiPIMS高能脉冲为例,相较于直流电源,离化率更高,沉积的薄膜附着力更好,从上图可以看出,直流电源沉积出的为柱状结构,而HiPIMS电源沉积出的为玻璃状结构,膜层更致密。