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KYOSAN射频电源维修京三电源维修RFK30ZCSW5

2021-12-9 13:33:41

KYOSAN射频电源维修京三电源维修RFK30ZCSW5

射频电源维修、对光伏企业生产设备如:刻蚀设备所用及中国微电子所研究制造的SY型射频功率源包括黑色面板和白色面板两种,功率包括:1KW、1.5KW、2KW、10KW以及进口刻蚀设备射频电源维修;PECVD所用的美国AE PEII 10K 和 AE PEII 5K等AE射频电源维修;RF射频电源维修,烧结炉驱动卡维修;1394电机驱动卡维修;baccini丝网印刷机设备工控主板维修、相机驱动卡维修、恒温槽维修等光伏设备电子备件维修有丰富的维修经验。我们的维修具有成功率高、维修速度快,价格优惠等优点,能提供现场维修及调试服务。

KYOSAN射频电源维修常见故障及维修:

故障现象1:打开电源,电源指示灯不亮;

故障现象2:电源灯亮了,预热灯不亮;

故障现象3:电源灯亮了,预热灯亮、辉光亮,匹配器功率及反射功率,电源的功率指示和电流指示不正常。(正常的功 率指针指到220,电流指示0.4)

故障现象4:电源灯亮了,预热灯亮,辉光不亮;

故障现象5:无功率输出;

故障现象6:有功率输出,但是调不大,或是调不到正常值。

故障现象7:无反射功率,或反射功率过大,射频功率源坏;

日本京三KYOSAN电源维修射频电源维修RFK150FH

天浦正达服务于太阳能光伏、PVD镀膜,半导体薄膜、离子注入、刻蚀,平板显示,光盘、光电子LED等制造设备以及科研院校、技术研究所等行业。

主要维修 AE( Advanced Energy) 、 ENI ( MKS )等国际品牌 RF 射频电源及直流电源 。同时为各地区的半导体、数据存储、光电子、真空镀膜、平板显示、研究所等行业提供射频电源检测维修。

AE(Advanced Energy)、ENI(MKS)、SEREN、DAIHEN、VEECO射频电源,HiTek power,Glassan、Spellman高压电源,Lambda、delta、sorensen、Powerone直流电源。ASTeX  Power Supply、ASTeX MATCH、FLASH LAMP、ESC HV PSU  SEREN射频电源3.56MHz维修 赛恩电源维修  ADTEC射频电源维修AX-2000III/600III镀膜等离子电源维修。

天浦正达主要从事半导体制造设备、半导体封装设备、光伏太阳能生产设备、电镀行业设备电子备件维修。公司拥有经验丰富的电源维修工程师,对各种大功率开关电源维修、AE电源维修、电镀电源维修、ADL电源维修、射频电源维修,RF电源维修、高频电源维修、ups电源维修等有深厚的维修功底和丰富的维修经验。

维修服务范围:刻蚀、RIE、平行板、ICP、pecvd、射频溅射、CVD 和PVD等系统,工业系统中感应加热和电介质加热设备的电源,烘干、塑化焊接、硅晶体生长和平板显示器领域应用电源,直流偏压和硬镀膜,信息技术设备(ITE)及轻工业系统设备,同时对仪器电源提供检测维修。

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维修品牌:ASTEC(雅达)、日本COSEL (科索)、维易科(Veeco)、美国Comdel、AMAT(纳斯达克)、美国AE电源(MDX、MDX II、 pinnacle、Diamond、PE、PEII、RFG、RFX、RFXII、APEX、RFDS、ATLAS、HFG、 RFPP(RF、LF)VHF、HFV等)、seren、ENI电源(DCG、RPG、DPG、ACG、OEM等)、德国Singulus电源等