AE脉冲直流电源维修PINNACLE PLUS10K20K北京

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Pinnacle® Plus 系列Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle® Plus 电源为单体直流脉冲电源，为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点，包括使用简单、节约成本以及具有灵活性。结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术，Pinnacle Plus 电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比，沉积率更高，重复性能更好，薄膜质量更为优异。优势:

更高的沉积率与产品率

薄膜均匀性和品质一流

成弧造成的基材损坏减少

成本更低

系统整合容易

工艺灵活性和宽容度

重复性能

在过度曲线上运行稳定

吞吐量更高

系统灵活性特点:

一个紧凑型封装

频率调节范围为 5-350kHz

占空比大

电压范围宽——单输出宽阻抗范围

大功率运行

基材温度低

单输出（5kW 和 10kW 型号）

用于双阴极生产的双输出（双路5kW 型号）

的弧控制

反应性溅射闭环控制规格：

输出功率：5KW单输出、5KW双输出、10KW单输出

电压范围：325-650VDC，可选325-800VDC输出（宽Z）

输出功率接头：五个终端、DIN压缩接头；电线尺寸：＃6 AWG

输出接头：两个终端、多个触点、带有应力释放功能的可插入式接头或UHF接头

电流：15.4ADC；15.4ADC/输出；30.8ADC

频率：5到350KHz，可变

反向电压：工作电压的0.1

点火功能：1500VDC，正常1350VDC

调节模式：功率、电压或电流

交流线电压：200/208、400或480VAC

电流：5KW：200/208VAC：标称值17A/Φ

400VAC：标称值8.5A/Φ

480VAC：标称值7.5A/Φ

5KW双输出/10KW单输出200/208VAC：标称值35A/Φ

400VAC：标称值17A/Φ

480VAC：标称值15A/Φ

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