20年 RFPT射频电源维修 射频匹配器维修 AX1K5

射频电源(RF generator)是用来产生射频电功率的电源。 它的输出一般是正弦波或脉冲，频率有2MHz、13.56MHz、27.12MHz、60MHz等规格，输出功率从几十瓦到几十千瓦，输出阻抗一般是50欧。

在RF电路设计中，包括如何通过小化环路面积、遵循功率回流路径原则、远离高增益放大器和使用星型拓扑来减少EMI。 同时强调了电源去耦技术和滤波电容的选择对系统性能的关键作用。为了保护放大器，射频电源采用了温度传感器、反射功率控制、快速反射功率控制、功耗控制、限流电路等设计方法，采用了沉积、蚀刻、清洗、Asher、大气压、溅射系统等固定方式。

应用范围：主要服务于太阳能光伏、PVD镀膜，半导体薄膜、离子注入、刻蚀，平板显示，光盘、光电子LED等制造工艺以及科研院校、研究所等设备的高压、直流、射频电源。主要包括高压电源HV PSU、射频电源RFG、匹配网络RF Match、直流电源DC POWER、微波发生器等，提供设备维修、批量产品维修。

RF MATCH射频匹配器维修范围有ADVANCED射频电源匹配器；ASTEX射频电源匹配器；NP射频电源匹配器；ASTECH射频电源匹配器；SEREN射频电源匹配器；射频电源匹配器；KYOSAN射频电源匹配器；ENI射频电源匹配器；DAIHEN射频电源匹配器；射频电源匹配器；TRAZAR射频电源匹配器维修等

主营业务：提供维修服务

维修真空溅射镀膜设备、等离子清洗设备、真空贴合机、设备上的电控部件:射频电源、射频器、靶材电源、高压电源、微波电源、磁控溅射电源、中频电源、高频电源、远程等离子体源、霍尔离子源、脉冲电源、直流电源、氧化源电源、特种电源、匹配器、膜厚仪等。

维修仪器设备:试验机、检测仪、分析仪、光度计、镭射切割机、激光器等。

RFPT射频电源维修 RFPT射频匹配器维修 射频电源匹配器维修